该型设备可对需要密封产品进行干式无损氦检漏,利用氦气特有的物理特性,采用真空箱法,对真空箱抽真空,保证产品不受外界干扰,向产品内充入一定压力氦气,使用氦检专用检漏仪对产品进行氦泄漏测试。真空箱被抽空压力小于20Pa以下,检漏精度可达1.0E-8Pa·m³/s。
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